Anlagen und Ersatzteile

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STS bietet neue und wiederaufbereitete PVD-Werkzeuge, die damals von Varian und Novellus für die Halbleiterindustrie hergestellt wurden.

  • Unsere Verfahren, die durch Lizenzverträge der OEM ausgezeichnet sind, versichern, dass unsere Werkzeuge von höchster Qualität sind.
  • Unsere kürzlich in Betrieb genommene Firma ist ein kompletter Neubau und wurde speziell zur Unterstützung unserer Werkzeugbauaktivitäten mit einem Reinraum der Klasse 100 von 185,5 m² konzipiert.

STS stellt folgende PVD-Werkzeugsets bereit:

Varian/Novellus 3180, 3190, 3280, 3290, XM-8, XM-90, M2000, M2i, MB2

Ersatzteileversorgung:

  • STS führt Lagerbestände zwischen unseren beiden PVD-Supportstandorten in Großbritannien und den USA.

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